半導(dǎo)體工業(yè)用石墨加工資料的優(yōu)點(diǎn)

　　石墨的加工是碳的一種同素異形體，為灰黑色、不透明固體，化學(xué)性質(zhì)安穩(wěn)，耐腐蝕，同酸、堿等藥劑不易發(fā)生反應(yīng)。在氧氣中燃燒生成二氧化碳，可被強(qiáng)氧化劑如濃硝酸、高錳酸鉀等氧化。半導(dǎo)體與光伏工業(yè)用石墨加工資料的優(yōu)點(diǎn)。

1、密度：石墨加工單晶的理論密度是2.26g/cm3，一般人造石墨加工的密度都在1.5-1.9g/cm3之間，固體的熱解碳的密度可達(dá)2.1g/cm3，純石墨加工的密度值是其質(zhì)量除以體積﹙含一切的氣孔﹚所得的商。

2、機(jī)械強(qiáng)度：人造石墨加工不同于其它大部分的資料，它的抗張、抗折和抗壓強(qiáng)度會跟著溫度的升高而增大，當(dāng)?shù)竭_(dá)2200K之后，其強(qiáng)度會下降。在2200K時，石墨加工的強(qiáng)度值較室溫時高一倍，一般用于半導(dǎo)體、光伏工業(yè)的石墨加工資料的抗壓強(qiáng)度到達(dá)90-150Mpa；抗折強(qiáng)度為40-65Mpa。

3、導(dǎo)電性：同其他金屬不同，石墨加工的電阻溫度系數(shù)是負(fù)數(shù)。石墨加工的導(dǎo)電性好。挨近絕對零，只具有少數(shù)自由電子，自身可充任絕緣體，跟著溫度的上升，其導(dǎo)電性會添加。石墨加工的導(dǎo)電性較許多金屬要高，且跟著溫度的添加其數(shù)值下降。石墨加工的導(dǎo)熱性跟著其石墨加工化程度的不同而有所不同。

4、熱膨脹性：石墨加工的熱膨脹系數(shù)以3×10-6K-1級擺放，即只相當(dāng)于鐵的1/4。不同牌號的石墨加工其熱膨脹系數(shù)值會有所改變，也同石墨加工資料的各向異性及溫度有關(guān)。

5、比熱：石墨加工的比熱在500K-1500K溫度范圍內(nèi)改變較大，它跟著溫度的增高，也有較大的增高。而不同牌號的石墨加工，其比熱改變很小。

6、耐溫性：石墨加工不會熔化，但在3900K溫度時能耐溫至750K。石墨加工有非常好的抗熱沖擊功能，因而急速地加熱或冷卻，石墨加工都不會有問題。

7、可加工性：石墨加工容易加工，其邊際強(qiáng)度和耐磨性好。結(jié)構(gòu)復(fù)雜、公役嚴(yán)格的部件都可以通過精加工獲得。石墨加工具有很好的耐浸潤性，它不會被熔化的玻璃或大部分金屬浸潤。

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