多晶石墨熱場(chǎng)|石墨熱場(chǎng)|單晶鑄錠用石墨熱場(chǎng)

石墨熱場(chǎng) 熱場(chǎng)石墨 多晶硅 單晶硅熱場(chǎng)石墨 石墨發(fā)熱元器件

一種流行的設(shè)計(jì)方案是采用石墨材料制作熱場(chǎng)隔熱部件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨保溫材料由板狀或者多層毯狀石墨化碳纖維材料組成，在靠近熱場(chǎng)中心的內(nèi)表面往往需要加覆一層石墨紙或碳碳復(fù)合材料薄板用來(lái)提高熱反射率和防止高壓氣流的沖刷。由于石墨材料本身所具有的多孔性和可滲透性，各層隔熱材料之間不需要預(yù)留額外的空間。石墨材料具有優(yōu)良的隔熱性能，成本通常較金屬屏低，而且非常易于使用。就制造成本，耐用性和可維護(hù)性而言，石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有一定的優(yōu)勢(shì)。通過(guò)生產(chǎn)實(shí)踐，金屬隔熱屏往往不適于環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。來(lái)自于焊料的金屬物質(zhì)會(huì)沉積在金屬隔熱屏的表面，由于隔熱屏與所附著的焊料物質(zhì)的熱膨脹系數(shù)不同，金屬隔熱屏?xí)a(chǎn)生彎曲變形與斷裂，這會(huì)***終降低金屬屏的隔熱性能。金屬屏在遇到銅焊合金濺射的情況下很容易受到損傷，導(dǎo)致屏的表面形成孔洞，熱量會(huì)從這些孔洞中傳遞出去。當(dāng)然，使用厚一些的金屬屏特別是鉬合金的屏?xí)娱L(zhǎng)金屬熱場(chǎng)的使用壽命，但是卻增加了可觀的成本。比較好的解決方案是采用石墨材料制作隔熱部件，實(shí)踐證明，盡管在釬焊工藝中會(huì)有很多焊料沉積在石墨隔熱材料的表面，但是卻不會(huì)發(fā)生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現(xiàn)象。雖然有人會(huì)質(zhì)疑，認(rèn)為石墨材料比金屬材料更容易吸收水分，水分對(duì)釬焊工藝過(guò)程危害很大，但是，實(shí)踐證明熱場(chǎng)周而復(fù)始的升溫與降溫會(huì)很好地排除石墨隔熱材料中的水分。

直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也就是所謂的熱場(chǎng)，是指為了熔化硅料，并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。 熱場(chǎng)一般包括（石墨材料）壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。 石墨熱場(chǎng)簡(jiǎn)單的說(shuō)就是用來(lái)拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。***常見的是18寸的石墨熱場(chǎng)。